在X射線熒光分析中，物質中所含的每種元素都會產生多種特征X射線，因此需要一種裝置使用適當的方法將它們分離并分別測量它們的強度。根據檢測 X 射線的方法，有兩種類型的設備。它們是波長色散 (WDX) 和能量色散 (EDX)。

1.波長色散裝置

這是一種使用分光元件將 X 射線分離成波長并將其引導至探測器的設備。該探測器僅測量目標特征X射線的強度，具有高波長分辨率和優(yōu)異的測量靈敏度和精度。

然而，測量樣品的表面必須光滑，并且分光元件和探測器必須精確旋轉，使得設備大型且昂貴。

2、能量分散裝置

熒光X射線直接進入探測器，接收到的信號在設備內部進行電處理以探測特征X射線。盡管分辨率、靈敏度和準確度不如波長色散類型，但它們需要的分析時間更少，更容易處理，而且更便宜。另外，由于易于小型化，即使表面凹凸也能進行測量，因此有手持式等多種產品在銷售。